ITO靶材
產(chǎn)品特性
本公司提供的ITO品種齊全，性能穩(wěn)定，純凈度高，可滿足高規(guī)則制程要求
- ITO小顆粒，可應(yīng)用于蒸鍍制備電磁屏蔽材料；
- RPD專用ITO靶，可應(yīng)用于RPD蒸鍍制備透明導(dǎo)電膜；
- ITO 旋轉(zhuǎn)濺射靶，真空磁控濺射制備ITO導(dǎo)電玻璃及柔性ITO導(dǎo)電膜。
| 產(chǎn)品型號 | 化學(xué)式 | 外觀 | 純度 | 尺寸（mm） | 晶粒度 | 相對密度 |
| ITO小顆粒 | In2O3/SnO2 | 綠色塊狀陶瓷 | ≥99.99% | 25*7/25*10 | 5~15μm | 60±2% |
| RPD專用靶 | In2O3/SnO2 | 綠色塊狀陶瓷 | ≥99.99% | 20*20 | 5~15μm | 60±2% |
| 旋轉(zhuǎn)濺射靶 | In2O3/SnO2 | 黑色管狀陶瓷 | ≥99.99% | 300*10/定制尺寸 | 5~15μm | ≥99% |
上海晶泰光電科技有限公司 制程耗材產(chǎn)品